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森派克公司(ThermVac)的超高温设备海外扩张【CVD、碳纯化炉】
2024-10-15 15:10:40   来源:   评论:0 点击:

(key word : SiC/TaC/B4C CVD,化学气相沉积炉,碳純化炉,石墨化炉, 热压炉)

随着全球半导体、二次电池、电动汽车、太阳能等领域对高纯石墨材料的需求增加,韩国森派克公司(Thermvac Inc.)把SiC/TaC/B4C CVD设备和碳纯化炉持续开发,每年向国内及海外市场扩大供应。

首先,陶瓷CVD设备方面,2023-2024年向中国湖北省J公司、北京A研究中心、韩国K研究中心供应大型SiC CVD和B4C CVD设备。同时,TaC CVD设备已向韩国T公司和中国山西省S公司供货,并正在与台湾和日本客户签订供货合同。另一方面,就碳纯炉而言,同期向韩国K公司和K研究所供应卧式量产设备,向中国江苏省S公司供应立式量产设备后,供货合同为正在与法国和台湾的客户合作。特别是在碳纯化炉方面,随着领先增长行业的各个领域对碳纯化处理的需求迅速增加,来自世界各地的客户,包括瑞典、日本、和印度,对纯化设备的询问不断涌入,森派克公司正在积极谈判供应,正在巩固碳纯化炉国际供应商的地位。

与此相关,森派克公司已确认在2024年进行两项重要投资,以加强该领域设备的技术竞争力并扩大供应能力。首先,为了加强设备的技术竞争力,公司正在韩国现有业务基地附近购买一座单独的工厂,建设设备测试中心。该设备试验楼依次安装了2台陶瓷CVD机组、2台碳纯化炉、高温粉末连续生产炉、并热压炉,自行研究设备的工艺技术,另外,计划为客户提供设备租赁服务,以进行工艺测试和样品生产。这样做有两个目的,首先,由于CVD设备或碳纯化炉在高温和有害腐蚀性气体等极端环境下使用,因此耐用性和售后服务的便捷性被认为与设备性能一样重要,所以通过让设备制造商森派克成为设备使用者,直接执行工艺,根据工艺特点,优化设备薄弱部位的结构和功能。第二个目的是为客户在投资昂贵的设备之前提供一个机会,通过样品测试来检查他们所开发的工艺和森派克设备的可靠性,并且,即使在订购设备的情况下,也在设备生产期间中先行样品或原型制作来尽快支持客户的商业化。森派克的设备测试楼将在2024年底建成设备可以生产直径400Φ以内的TaCCVD 样品并处理300kg/批的纯化材料,再计划在2025年中扩建设备群,可以生产直径600Φ以下的SiC/B4C/PyC样品,纯化处理500kg/批,连续生产30L/hr的高温粉末。

此外,为了扩大供应能力,森派克公司在中国辽宁省葫芦岛市建立了真空炉制造工厂,并于2024年7月1日注册了海外法人。未来,葫芦岛工厂将在本地制造碳纯化炉、石墨化炉、热压机等,并交付给中国客户(不包括CVD设备),从而增强成本竞争力,包括最大限度地降低物流成本,并大幅缩短交货时间通过这样做,森派克将应对快速变化的行业趋势。

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